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真空鍍膜加工工藝中，要求裝配到高真空環境的零件，事先都需要小心地進行清洗處理，否則各種污染物可成為大量氣體和蒸氣的來源，會大大延長真空器件的排氣時間，不易獲得高真空。
去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產品的壽命和可靠性。真空鍍膜設備成膜性能好，真空電鍍設備涂層的致密度、覆蓋能力、抗溶劑能力與耐光照能力等性能良好。
真空鍍膜就是以磁場束縛而延長電子的運動路徑,改變電子的運動方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量.電子的歸宿不僅僅是基片,真空室內壁及靶源陽極也是電子歸宿,因為一般基片與真空室及陽極在同一電勢.磁場與電場的交互作用(EXB drift)使單個電子軌跡呈三維螺旋狀,而不是僅僅在靶面圓周運動。
